热门搜索: 企业  专家  标准  专利  高校  科研院所
金属分类
在线办公
行业专家
王淀佐桂卫华戴永年
傅恒志陈立泉干勇
行业要闻
微电子制造用高纯贵金属及其合金靶材的关键技术与产品开发(2013年度二等奖)
作者:匿名    来源: 来源网络    点击数:26    更新时间:2016-04-11 10:38:02    

高纯贵金属金、银、铂等及其合金靶材是电子信息用关键材料之一,应用于分立器件、集成电路晶圆和先进封装等微电子制造中。有研亿金新材料股份有限公司针对国内高端贵金属靶材制备技术落后、微电子企业严重依赖进口的现状,开展高纯贵金属靶材研制。

本项目解决了贵金属提纯、熔炼、微观组织控制、靶材与背板组件连接、贵金属残料回收提纯和循环再利用等关键技术,制备出高纯度、高致密度、晶粒细小均匀、连接可靠的高品质靶材,同时实现贵金属的高效回收利用。高纯贵金属靶材的研发能力和产品质量处于国内领先地位,项目整体技术达到国际先进水平。申请专利28项(其中发明专利16项),制定国家及行业标准4项,获中国半导体创新产品和技术奖1项。

贵金属靶材年产能达到2000块,近三年累计销售超亿元,利润超1200万元,产品型号近30种,涵盖4英寸线以上主流溅射机台,客户包括国内绝大部分微电子企业,同时部分产品向国外高端半导体制造厂商批量供货。本成果实现了高纯贵金属靶材国产化,使稀缺的贵金属资源得到了高效利用,对我国贵金属及半导体等相关行业健康持续发展具有重要意义。

8寸Endura溅射机台用高纯(99.995%)镍铂合金靶材 

12寸Endura溅射机台用高纯(99.995%)镍铂合金靶材